FJL520型超高真空磁控与粒子束溅射双室联合系统
双室立式结构的超高真空磁控与离子束溅射镀膜系统。可用于开发纳米级的单层及多层功能膜——各种硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等。
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